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低流量，雙向常閉（NC）比例閥，帶有集成的熱補償功能，可在各種介質上保持和可重復的流量。
VSO低流量閥可在0-500 sccm之間提供的控制流量控制。與VSO微型比例閥一樣，VSOLowFlow微型比例閥可根據輸入電流提供的氣體流量控制。可以通過DC電流或脈沖寬度調制以及閉環(huán)來控制閥門。 VSO低流量微型比例閥非常適合氣相色譜和質譜設備制造商。

•實現的低流量（0 - 500 sccm）控制，提高儀器精度
•進行熱補償以保持各種介質的流動
用于性能可追溯性的計算機自動校準和序列化
•清潔氧氣和分析服務使用
經過驗證的性能測試到1000萬個生命周期
•符合RoHS標準

PARKER派克VSO低流量微型比例閥典型應用行業(yè)如下：
•氣相色譜
•質譜
•壓力和流量控制
•質量流量控制